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品質保証・解析機器
表面解析、定性分析、断面解析
電界放出形走査電子顕微鏡(日本電子製JSM-7000F)
エネルギー分散型Ｘ線分析装置(日本電子製EDXS)
ナノ世界のめっき表面観察／EDSによる表面分析
オージェマイクロプローブ顕微鏡
(日本電子製JAMP-30)
最表面の安定・デプス分析
CPクロスセクションポリッシャ
(日本電子製SM-09010)
めっき膜厚測定
高性能蛍光X線膜厚計
(日立ハイテク製FT-9500)
ナノレベル対応／大型基板対応
蛍光X線膜厚計
(日立ハイテク製FT-110)
蛍光X線膜厚計
(SII製SFT-9200 他)
表面粗さ
走査型プローブ顕微鏡
(SII製SPA-400)
ナノの面粗さ
超深度形状測定顕微鏡
(キーエンス製VK-8500)
非接触面粗さ
粗さ測定器
(東京精密製サーフコム480A)
接触線粗さ
